晶圆装卸机 Load Port

多款规格共享

HIWIN晶圆装卸机Load Port HLP系列可共享8吋与12吋产品加载载出，能直接对应8吋与12吋FOUP/FOSB，亦可选配8吋open cassette、12吋metal carrier的载具对接平台。

关键零组件自制

HIWIN晶圆装卸机Load Port HLP系列的各关键零组件，如滚珠丝杠、直线导轨与单轴机器人等，皆由HIWIN自行研发制造且软硬件垂直整合，可依客户需求进行弹性客制化服务。