RWD 双臂晶圆机器人

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_0076_RWD 双臂晶圆机器人

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RWD 双臂晶圆机器人

應用:

半導體 LED 面板 IC 自動光學檢測自動化

特征

直驅馬達傳動設計，重複精度達±0.1mm。

软硬件垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达±0.1mm，回转半径小，空间使用率高。

适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。