RWS 单臂晶圆机器人
應用:
半導體 LED 面板 IC 自動光學檢測 自動化
特征
上銀科技晶圓機器人中的各關鍵零組件，如滾珠螺桿、直驅馬達等，皆由HIWIN自行研發製造，取件直接，軟硬體垂直整合，可提供高品質的機器手臂，提升您的競爭力，且可依客戶生產需求提供客製化服務。
直驅馬達傳動設計，重複精度達±0.1mm。
软硬件垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达±0.1mm，回转半径小，空间使用率高。
适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。
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